首先就在于其几乎没有衍射效应,准直性很好,而其他的光就比较容易发生衍射,哪怕是稍稍有一颗氧气分子飘过,其他的光线在经过的时候,比如穿过这氧气分子的两颗氧原子中间时,就会因为发生单缝衍射这类似的情况,导致衍射效应的出现,最终影响到实际光刻的图案。
这也是为什么光刻机内部必须保持真空。
所以要不是X光不能被透镜所反射,EUV光什么的,压根就不在考虑中了。
这也是为什么说衍射是光刻机的天敌。
而现在林晓的思路却是反其道而行,他反而要去利用衍射效应,来实现自己的目的。
当然,他所要做的是,控制衍射。
那么,现在就出现了一个问题。
“想要控制衍射,就必须知道为什么会发生衍射!以及,衍射的规律是怎样的。”
林晓目光微微一闪。
现在的物理学家,仍然只能通过实验来得到一些衍射规律,比如单缝衍射、双缝衍射、圆孔衍射等等。
而衍射的具体成因并没有人搞懂,仍然属于物理学中的未解难题。
而这个问题,就涉及到了波的衍射。
波的衍射要分经典波和光波,经典波由于能量的传播导致粒子的震颤相互间碰撞而产生的,由于撞到障碍物会发生轨迹偏转的现象。而光波的衍射属于量子力学的范畴,具体不能用传统的方法来理解,只能用概率统计的方式。
而想要明晰这个问题,就需要更多,以及更加复杂的计算,此外,还需要更加强大的智慧。
因为,这个问题是在直面【波】!
这个物理学中充满了谜一样的基本元素。
它到底是什么?
是不同维度的交际,还是上帝拨动的弦?
虽然林晓并不是想揭秘波的本质,只是波的一个性质,但是他相信,这是一个丝毫不亚于多维场论的问题。
想到这,林晓顿时感到充满了挑战性。
“唔,看来接下来的一段时间内,有的是让我研究的了啊。”
等于说他现在又要进入理论的研究中了。
而这也是必要的。
因为如果不研究这个理论,他就不知道要经过怎样的衍射,才能够实现对X光衍射的控制。
这样一来他就不知道哪种晶体结构最合适,这样一来,就等于他就要去撞运气,用各种各样的晶体去实验,然后尝试性地去逼近最终目标。
他不喜欢撞运气,所以那就只好从源头开始咯。
“嗯,这个事情之后再说好了,先看看这个优化后的光刻机长什么样子的吧。”
不再思考波的衍射问题,他关注起优化方案。
“打开优化后的指导方案。”
随着他的命令下达,他的脑海中便浮现出了一个全新的光刻机。
X光刻机。
其体积更小,因为其没有复杂的光路系统,所以这部分的结构就省了下来,至于其他主要结
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